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在半導(dǎo)體潔凈室中控制相對(duì)濕度不是隨意的。但是,隨著時(shí)間的變化,回顧一下常見的被普遍接受的實(shí)踐的原因和基礎(chǔ)。到目前為止,在半導(dǎo)體潔凈室中迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性,它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的。

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1741 次濕度名詞解釋 加濕工程常用基本術(shù)語(yǔ) [2006-11-27]空氣的組成就 加濕工程設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō),空氣被看作由純的干空氣和水蒸氣兩部分組成。
   
濕度的定義是:空氣中濕氣的含量
   
這種濕氣必須是水蒸氣的形式,沒(méi)有蒸發(fā)成水蒸氣狀態(tài)的的可視水滴不會(huì)影響濕度。相對(duì)濕度這個(gè)名詞是指"在一定的溫度下,某一體積空氣中的實(shí)際含水量與該空氣限度的含水飽和量之比,用百分比( % )表示"。
  

好評(píng)度
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